XeO3 kimyasal formülü ile yazılan xenon trioksit için Lewis yapısı, merkezde, üç Os'a giden üç adet yayılan çift satırlı bir Xe'ye sahiptir. Xe bir çift nokta ile sınırlanmıştır ve her O iki çift nokta ile sınırlanmıştır.
Xe, ksenon atomunu ve üç Os, oksijen atomlarını temsil eder. Her çizgi bir çift bağlı elektronu temsil eder ve her nokta, atomun dış kabuğundaki bir elektron olan bir değerlik elektronunu temsil eder. Her noktayı bir elektron olarak ve her çizgiyi iki elektron olarak sayarak, Lewis yapısında temsil edilen toplam elektron sayısı moleküldeki toplam değerlik elektronu miktarına eşit olmalıdır.
