Radon, helyum, argon, xenon, neon ve kripton gibi soy gazların hepsi monatomiktir. Soygazlar tek kararlı gazlar olduğu için her zaman monatomiktir. Bununla birlikte, sıcaklık yeterince yüksekse, periyodik tablodaki diğer gazlar hidrojen gibi monatomik hale gelebilir.
Monatomik gazlar, birbirine bağlanan atomları olmayan gazlardır; bunun yerine, parçacıkları tek atomlardır. Bu gazların kararlılığı basınca ve sıcaklığa bağlıdır ve soy gazlar ne kadar ağır olduğuna bağlı olarak reaktif veya reaktif olmayabilir.
Diğer bazı gaz türleri arasında, iki atoma sahip iki atomlu gazlar ve birçok atomla çok daha karmaşık olan polyatomik gazlar bulunur.