İspanyol mucit ve madenci Jeronimo de Ayanz'ın ilk buhar makinesini 1606'da patenti aldığı düşünülüyor. Madenlerin güvenli bir şekilde çalışabilmesi için su basmış madenleri boşaltmak için yapıldı.
Sık sık de Ayanz'ın ilk buhar makinesini üretip patentini aldığı düşünüldüğü halde, aslında İngiliz mühendis ve mucit Thomas Savery'ye kredi verildi. 1698'de, buhar basıncını kullanarak madenlerden suyu verimli bir şekilde tahliye edecek bir makine fikrini patenti aldı.
Fransız mucit Denis Papin'in dünyanın ilk düdüklü tencere için planlarına dayanarak buhar makinesi için fikrini geliştirdi. Buhar motorunun icadı, trenlerde ve teknelerde ve endüstriyel ortamlarda nihayetinde kullanılan iyileştirmelere yol açmıştır.
