İlk jeotermal enerji santrali 1904'te Prince Piero Ginori Conti tarafından icat edildi. Bu sistem elektrik üretmek için buhar kullandı.
1922 yılına kadar ilk jeotermal tesisin Amerika Birleşik Devletleri'nde 250 kilovat kapasiteye sahip inşa edildiği değildi. Üretimi azdı ve teknik sorunlar nedeniyle kapatıldı. Daha sonra 1946'da Oregon'daki Commonwealth Binasında bir toprak kaynaklı ısı pompası inşa edildi. 11 megawatt'lık üretime sahip ilk büyük ölçekli jeotermal santral 1960'larda San Francisco'da inşa edildi. Jeotermal ısı pompaları, 1973'teki petrol krizini takiben 1980'lerde popülerlik kazanmıştır. O zamandan beri, soğutma ve ısıtma maliyetlerini azaltma ihtiyacı arttıkça jeotermal enerji artmaya devam etmiştir.
