Frederick Guthrie 1873'te diyotu icat etti, ancak pratik kullanıma sokmadı. Thomas Edison bağımsız olarak 1880'de geliştirdi, sonra bunu 1883 akkor ampulün patentinde kullandı. John Ambrose Fleming, diyotun ilk patentini 1904'te aldı.
Bu erken diyotların tümü, vakum tüpü diyotlarıydı. Vakum tüp diyotu, yarı iletken diyotlar onları takviye ettiğinde 1950'lere kadar en yaygın olanıydı. Yarı iletken diyotlar, vakum tüpü diyotlarından kısa bir süre sonra icat edildi, ancak 20. yüzyılın ortalarına kadar pratik kullanım için yeterince kararlı değildi. Karl Ferdinand Braun, ilk yarı iletken diyotu 1874'te icat etti ve 1899'da patentini aldı.
