Mikroskobun tek bir mucidi olmamasına rağmen, 1595'de Zacharias Janssen ve babası Hans ilk bileşik mikroskobu icat ettiler. bir tüp büyütülmüş bir görüntü oluşturur.
Janssens'in mikroskobu elde tutuldu ve görüntüleri gerçek boyutlarının 10 katına kadar büyütebilen iki dışbükey ve plano-dışbükey lenslerden oluşuyordu. 1600'lerde Anton van Leeuwenhoek, mikroorganizmaları ve hücreleri görüntülemek için daha güçlü bir odaklanma ve büyütme ile basit bir mikroskop geliştirdi. Robert Hooke'in bileşik mikroskobu, bitki ve hayvan hücrelerini, mineralleri ve fosilleri gözlemlemek için aydınlatmayı kullandı. 1800'lerde, Carl Zeiss, Otto Schott ve Ernst Abbe daha da büyütülmüş ve renk doğruluğunu ve camını geliştirmişlerdir. Ernst Ruska, ilk elektron lensini 1931'de icat etti.
